МОДЕЛИРОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЙ ДЛЯ ЭКСПЛУАТАЦИИ В ОСОБО ЖЕСТКИХ УСЛОВИЯХ

Цыпин Борис Вульфович, доктор технических наук, профессор, кафедра информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, cypin@yandex.ru
Арискина Екатерина Вячеславовна, студентка, Пензенский государственный университет
distorsion@rambler.ru
Щипанов Владимир Дмитриевич, студент, Пензенский государственный университет,
distorsion@rambler.ru
Ярославцева Дарья Александровна, студентка, Пензенский государственный университет,
distorsion@rambler.ru
Волков Вадим Сергеевич, кандидат технических наук, доцент, кафедра приборостроения,
Пензенский государственный университет, distorsion@rambler.ru
Баринов Илья Николаевич, кандидат технических наук, доцент, кафедра информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, mzungu@inbox.ru

621.3.032

Описано применение пленок поликристаллического алмаза для создания полупроводниковых датчиков давления для жестких условий эксплуатации. Проанализирован тензорезистивный эффект в поликристаллическом алмазе. Приведены результаты моделирования чувствительного элемента датчика в виде круглой плоской мембраны на основе структур поликремний–диэлектрик–кремний и поликристаллический алмаз–диэлектрик–алмаз для случая нелинейного изгиба под действием давления. Показаны преимущества поликристаллического алмаза для создания датчиков давления с улучшенными метрологическими харатеристиками.

Ключевые слова

пленка поликристаллического алмаза, чувствительный элемент, датчик давления, жесткие условия эксплуатации

 Скачать статью в формате PDF

 1. Баринов, И. Н. Высокотемпературные датчики давления на основе поликристаллического алмаза. Состояние разработок и тенденции развития / И. Н. Баринов, В. С. Волков // Датчики и системы: методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации (Датчики и системы – 2012) : тр. Междунар. науч.-техн. конф. с элементами науч. школы для молодых ученых (г. Пенза, 22–26 октября 2012 г.) / под ред. Е. А. Ломтева, А. Г. Дмитриенко. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2012. – С. 91–93.
2. CVD Diamond for Electronic Devices and Sensors // John Wiley & Sons, Ltd, 2009.
3. Ральченко, В. CVD-алмазы. Применение в электронике / В. Ральченко, В. Конов // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. – 2007. – № 4. – С. 58–67.
4. Properties of natural diamond microlenses fabricated by plasma etching // Industrial Diamond Review. – 2005. – Р. 29–32.
5. Гончаров, В. В. Обзор работ по исследовательским реакторам и их использованию в СССР / В. В. Гончаров // Атомная энергия. – 1964. – Т. 17, вып. 4.
6. Yuxing, Tang. Poly-Crystalline Diamond (Poly-C) Technology And Piezoresistive Sensor Application For Cochlear Prosthesis / Tang Yuxing // Ph. D Dissertation, Michigan State University. – 2006.
7. Использование поликристаллических алмазных пленок для создания чувствительных элементов датчиков механических величин / И. Н. Баринов [и др.] // Известия ПГПУ им. В. Г. Белинского. Физико-математические и технические науки. – 2012. – № 30. – С. 384–390.